6-8寸晶圆产线的老旧设备,升级其控制软件和硬件及其操作系统,将来数据链接能力,并解决备件短缺问题。
无尘室条件下无人全自动产线,用于半导体晶圆生产中,实现物料匹配、分配、自动上下料自动对焦、定位,自动完成整个作业过程。实现工业大数据实时收集、分析,与MES系统对接。
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